Ọrụ Ngweri Nkezi nke Micropowder Alumina Anụmanụ Brown Fused na Semiconductor Industry
Ndị enyi, taa anyị ga-ekwu maka ihe siri ike ma dị mfe ime—ntụ ntụ alumina agba aja ajaO nwere ike ị nụbeghị maka ya, mana chips kachasị mkpa na nke dị nro dị na ekwentị gị na smartwatch gị, tupu e mepụta ha, nwere ike ịnagide ya. Ịkpọ ya "onye isi na-achọ mma" chip abụghị ikwubiga okwu ókè.
Echekwala na ọ bụ ngwa ọrụ siri ike dị ka whetstone. N'ụwa nke semiconductor, ọ na-arụ ọrụ dị nro dị ka obere onye na-akpụ ihe na-eji scalpels nanoscale.
I. “Ịkpụcha Ihu” nke Chip: Gịnị mere e ji dị mkpa ka e gwerie ya?
Ka anyị buru ụzọ ghọta otu ihe: iberibe anaghị eto ozugbo n'ala dị larịị. Ha bụ "ihe e wuru" n'elu wafer silicon dị ọcha nke dị larịị (ihe anyị na-akpọ "wafer"), dị ka iwu ụlọ. "Ụlọ" a nwere ọtụtụ ala, okirikiri dị n'ala ọ bụla dịkwa gịrịgịrị karịa otu puku ọkpụrụkpụ nke ntutu isi mmadụ.
Ya mere, lee nsogbu a: mgbe ị na-ewu ala ọhụrụ, ọ bụrụ na ntọala ahụ—elu ala gara aga—adịghị nhata, ọbụlagodi na ọ dị obere dị ka atọm, ọ nwere ike ime ka ụlọ ahụ dum gbagọọ agbagọ, ghara ịgbawa agbagọ, ma mee ka ibe ya ghara ịdị irè. Mfu ndị ahụ abụghị ihe egwuregwu.
Ya mere, mgbe emechara ala ọ bụla, anyị ga-eme “nhicha” na “nhazi ọkwa” nke ọma. Usoro a nwere aha mara mma: “Chemical Mechanical Planarization,” nke a kpọrọ CMP. Ọ bụ ezie na aha ahụ dị ka ihe siri ike, ụkpụrụ ahụ adịghị ike nghọta: ọ bụ ngwakọta nke nchara kemịkalụ na mmebi igwe.
"Mkpọchi" kemịkalụ ahụ na-eji mmiri pụrụ iche na-eme ka ihe a ga-ewepụ dị nro ma mebie, na-eme ka ọ "dị nro karịa."
"Mgbapụ" ahụ na-abata n'ọrụ—ntụ ntụ ntụ corundum aja ajaỌrụ ya bụ iji ụzọ anụ ahụ "kpochapụ" ihe ahụ nke usoro kemịkalụ "mere ka ọ dị nro" nke ọma ma dịkwa mma.
I nwere ike ịjụ, ebe ọ bụ na e nwere ọtụtụ ihe ndị na-eme ka ihe dị nro, gịnị kpatara nke a ji dị mkpa? Ọ bụ ya mere àgwà ya pụrụ iche ji dị mkpa.
II. “Ntụ ntụ Micronized nke Na-adịghị Eme Ka Ọ Dị Ngwakọta”: Nkà Pụrụ Iche nke Alumina Agba aja aja
N'ụlọ ọrụ semiconductor, ntụ ntụ alumina micronized aja aja ejiri mee abụghị ihe nkịtị. Ọ bụ otu "ike pụrụ iche", nke a họọrọ nke ọma ma mee ka ọ dị mma.
Nke mbụ, ọ siri ike nke ukwuu, mana ọ bụghị n'echeghị echiche.Alumina agba aja ajaIke ya dị n'etiti dayamọnd, nke zuru oke iji jikwaa ihe ndị a na-ejikarị eme ihe dị ka silikọn, silikọn dioxide, na tungsten. Mana isi ihe dị na ya bụ na ike ya siri ike bụ "siri ike". N'adịghị ka ụfọdụ ihe siri ike (dị ka dayamọnd) nke na-agbawa agbawa ma na-agbawa ngwa ngwa n'okpuru nrụgide, alumina agba aja aja na-anọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe ya ma na-eme ka ike ya dị mkpụmkpụ, na-ezere ịghọ "ihe na-ebibi ihe."
Nke abụọ, nha obere ihe dị na ya na-eme ka e gbutuo ya nke ọma. Nke a bụ isi ihe kachasị mkpa. Chee echiche ịnwa iji nkume dị oke ọnụ ahịa mee ka ọ dị ọcha. Nkume ndị buru ibu ga-ahapụ olulu miri emi, ebe ndị pere mpe nwere ike ịdị obere karịa ịrụ ọrụ na ha. Na usoro CMP (Chemical Mechanical Polishing), nke a abụghị ihe a na-anabata kpamkpam. Micropowder alumina agba aja aja ejiri mee ihe na semiconductor ga-enwerịrị nkesa nha obere ihe dị warara. Nke a pụtara na ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe niile dị ka nha. Nke a na-eme ka ọtụtụ puku ihe micropowder na-agagharị n'otu n'elu wafer, na-etinye nrụgide ọbụna iji mepụta elu na-enweghị ntụpọ, ọ bụghị nke nwere akara. Nke a dị na ọkwa nanometer.
Nke atọ, ọ bụ ihe e ji kemịkalụ "mee ihe n'eziokwu". Mmepụta chip na-eji ọtụtụ kemịkalụ dị iche iche, gụnyere gburugburu acidic na alkaline. Micropowder alumina agba aja aja na-adịgide nke ukwuu n'ụzọ kemịkalụ ma anaghị emeghachi omume ngwa ngwa na ihe ndị ọzọ dị na mmiri na-eme ka ọ dị ọcha, na-egbochi iwebata ihe ndị na-adịghị mma ọhụrụ. Ọ dị ka onye ọrụ na-arụsi ọrụ ike, onye na-anaghị ebuli onwe ya elu—ụdị onye ndị isi (ndị injinia) hụrụ n'anya.
Nke anọ, a pụrụ ịchịkwa ọdịdị ya, na-emepụta obere ihe "dị nro". Micropowder alumina agba aja aja nke e ji ntụ ntụ mee nwere ike ijikwa "ọdịdị" (ma ọ bụ "ọdịdị") nke obere ihe ndị ahụ. Site na usoro pụrụ iche, enwere ike ịgbanwe obere ihe ndị nwere nsọtụ dị nkọ ka ọ bụrụ ọdịdị dị nso na gburugburu ma ọ bụ polyhedral. Mkpụrụ ndị a "dị nro" na-ebelata mmetụta "grooving" n'elu wafer n'oge ịkpụ, na-ebelata nke ukwuu ihe egwu nke ọkọ.
III. Ngwa nke ụwa n'ezie: "Asọmpi Nkịtị" na Usoro Mmepụta CMP
N'usoro mmepụta CMP, a na-eji ihe mkpuchi ikuku jide wafers ahụ nke ọma, na-agbada ala, a na-etinye ya na ihe mkpuchi na-agbagharị agbagharị. A na-efesa mmiri na-eme ka ọ dị ọcha nke nwere alumina micropowder aja aja a gwakọtara agwakọta mgbe niile, dị ka obere ígwé ojii, n'etiti ihe mkpuchi ahụ na wafer ahụ.
N'oge a, "ọsọ ziri ezi" na ụwa obere ihe na-amalite. Ọtụtụ ijeri mkpụrụ osisi alumina a gwakọtara agwakọta, n'okpuru nrụgide na ntụgharị, na-eme ọtụtụ nde obere nanometer kwa sekọnd n'elu elu wafer. Ha aghaghị ịgagharị n'otu aka, dị ka ndị agha nwere nkà, na-aga n'ihu nke ọma, na-eme ka ebe ndị dị elu dị larịị ma "na-ahapụ" ebe ndị dị ala tọgbọ chakoo.
Usoro a dum ga-adị nro dịka ifufe oge opupu ihe ubi, ọ bụghị oké ifufe. Ike karịrị akarị nwere ike ịkpakọ ma ọ bụ mepụta obere mgbawa (a na-akpọ "mmebi ala dị n'okpuru ala"); ike na-ezughị ezu na-eduga na obere arụmọrụ ma na-emebi usoro mmepụta. Ya mere, njikwa ziri ezi na ntinye, nha ihe, na ọdịdị nke micropowder alumina agba aja aja na-ekpebi kpọmkwem mmepụta na arụmọrụ ikpeazụ nke chip.
Malite na mkpụcha mbụ nke wafer silicon, ruo na nhazi nke oyi akwa mkpuchi ọ bụla (silicon dioxide), na n'ikpeazụ ruo na ịkpụcha plọg tungsten na waya ọla kọpa eji ejikọta sekit, micropowder alumina agba aja aja dị oke mkpa n'ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ usoro nhazi niile dị mkpa. Ọ na-abanye n'usoro mmepụta chip niile, n'ezie ọ bụ "dike dị n'azụ ihe nkiri."
IV. Ihe ịma aka na ọdịnihu: Ọ dịghị ihe kacha mma, naanị ihe ka mma
N'ezie, ụzọ a enweghị njedebe. Ka usoro mmepụta chip na-aga n'ihu site na 7nm na 5nm ruo 3nm na ọbụna obere nha, ihe achọrọ maka usoro CMP erutela ọkwa "oke". Nke a na-eweta ihe ịma aka ka ukwuu maka micropowder alumina agba aja aja:
Kachasị mma ma dịkwa otu:Ngwakọta micropowder n'ọdịnihuọ ga-adị mkpa iru ọtụtụ iri nke nanometer, ya na nha nha nke ihe dị ka otu nha dị ka a ga-asị na e ji laser kpụọ ya.
Ihe nhicha: Ihe ọ bụla na-adịghị ọcha nke ion ígwè na-egbu egbu, na-eme ka ọ dịkwuo mma ịchọ ịdị ọcha.
Nhazi Ọrụ: "Ntụ ntụ ntụ nwere ọgụgụ isi" ọ̀ ga-apụta n'ọdịnihu? Dịka ọmụmaatụ, site na elu ndị a gbanwere nke ọma, ha nwere ike ịgbanwe njirimara ịkpụ n'okpuru ọnọdụ ụfọdụ, ma ọ bụ nweta ihe na-eme ka ọ maa mma, na-eme ka ọ maa mma, ma ọ bụ ọrụ ndị ọzọ?
Ya mere, n'agbanyeghị na ọ malitere n'ụlọ ọrụ abrasive ọdịnala, micropowder alumina agba aja aja agbanweela nke ọma ozugbo ọ banyere n'ọhịa semiconductors kachasị ọhụrụ. Ọ bụghịzi "hammer," kama ọ bụ "scalpel nanosurgical." Elu dị larịị nke chip isi dị na ngwaọrụ eletrọnịkị ọ bụla dị elu anyị na-eji sitere na obere ihe ndị dị na ya.
Nke a bụ nnukwu ọrụ e mere n'ụwa dị omimi, nantụ ntụ alumina agba aja ajabụ onye ọrụ aka dị elu nke na-adịghị ekwu okwu mana dị oke mkpa n'ọrụ a.